《碳化硅技术基础：增长、表征、器件和应用》《Fundamentals of Silicon Carbide Technology: Growth, Characterization, Devices and Applications》这本书主要讨论了碳化硅技术的基础知识、成长、表征、器件和应用。该书首先介绍了硅和碳化硅的基本概念和性质。接下来，它详细阐述了碳化硅的生长方法和技术，包括物理气相沉积、...
接下来,它详细阐述了碳化硅的生长方法和技术,包括物理气相沉积、化学气相沉积和溅射等方法。书中还讨论了碳化硅的表征技术,如结构表征、电学和光学性质的测试方法,以及表面和界面分析技术。 第三部分涵盖了碳化硅器件的设计、制造和特性。书中详细介绍了碳化硅材料在功率器件、微波器件和光电子器件中的应用。重点讲解了碳...