碳化硅生长技术主要有物理气相沉积(PVD)、分子束外延(MBE)、金属有机化学气相沉积(MOCVD)等方法,其中台阶流生长技术是一种非常优秀的方法。 台阶流生长技术利用碳化硅表面上形成阶梯状的结构,在其上进行生长,可以实现高质量、高效率的生长。其中,经过...