1、电子束蒸发镀膜机中的真空气路 在真空的气路中有两个机泵,分别是前级机械泵和高真空低温泵,其间的低温泵作用主要是经过在非常低的温度来,根据冷伞吸附的原来来达到抽真空的意图。在高真空低温泵的启动的过程中,前级机械泵会先将管道处在一个真空的状况中,当管道的真空度达到必定的程度的时候,仟吉阀就会翻开...
真空蒸发镀膜的工艺流程主要包括以下几个步骤:首先,对基片进行清洗和预处理,以确保其表面清洁无污染;接着,将基片放入真空室内,并调整基片的位置和温度;然后,加热蒸发源,使材料蒸发成气态粒子;最后,通过控制真空度和蒸发源的温度,使气态粒子均匀地沉积在基...
1、电子束蒸发镀膜机中的真空气路 在真空的气路中有两个机泵,分别是前级机械泵和高真空低温泵,其间的低温泵作用主要是经过在非常低的温度来,根据冷伞吸附的原来来达到抽真空的意图。在高真空低温泵的启动的过程中,前级机械泵会先将管道处在一个真空的状况中,当管道的真空度达到必定的程度的时候,仟吉阀就会翻开...