白光干涉测量薄膜厚度技术在工业生产中有着广泛的应用。例如,在半导体制造过程中,薄膜的厚度对器件性能有着重要影响,利用白光干涉测量技术可以实时监测薄膜的厚度变化,确保产品质量。此外,在光学薄膜涂层、液晶显示屏制造等领域也可以应用该技术进行薄膜厚度的测量和控制。5. 结论 白光干涉测量薄膜厚度技术是一种高精度...
在白光干涉仪的测量过程中,首先需要将待测薄膜放置在干涉仪的测量台上。然后,通过调整干涉仪的光路,使得两束干涉光产生明暗相间的干涉条纹。接下来,我们可以观察和记录这些干涉条纹的数量和间距。这些干涉条纹的特征与薄膜的厚度密切相关。通常情况下,薄膜越厚,干涉条纹的数量越多,间距越密集。为了准确测量薄膜的...
首先,从白光干涉测量薄膜厚度的原理出发,分别详细阐述了白光干涉原理和薄膜测厚原理。接着在金相显微镜的基础上构建了Mirau型垂直白光扫描系统作为实验中测试薄膜厚度的仪器并利用白光干涉原理对PZT的位移量进行了标定。其次,利用Matlab软件模拟了薄膜白光干涉的光强曲线,并在此基础上提出了峰值匹配算法计算薄膜厚度。接着...
薄膜白光干涉厚度测量实验折射率 实验2.12利用白光干涉测定薄膜厚度测量随着信息产业的发展,光学薄膜的需求不断增大,对器件特性的要求也越来越高。物理厚度是薄膜最基本的参数之一,它会影响整个器件的最终性能,因此快速而精确地测量薄膜厚度具有重要的意义。台阶仪是常用的厚度测试方法,然而它需要在样品上制作台阶,并且测试...
本文介绍了一种基于白光共焦光谱传感器的金属薄膜厚度测量技术。该技术通过相向对顶安装的白光共焦传感器组、精密位移平台以及自制的薄膜厚度校准样品,实现了对厚度为10~100μm的自支撑金属薄膜的厚度及厚度分布的精确测量。系统的测量不确定度在0.12μm左右,基本满足惯性约束聚变(ICF)靶参数测量所需的稳定性好、...
播放出现小问题,请 刷新 尝试 0 收藏 分享 0次播放 白光干涉传感器测量涂胶薄膜厚度 激光测距传感器泓川 发布时间:4分钟前主营:激光测距传感器 关注 发表评论 发表 相关推荐 自动播放 加载中,请稍后... 设为首页© Baidu 使用百度前必读 意见反馈 京ICP证030173号 京公网安备11000002000001号...
白光干涉测量透明薄膜厚度的原理如下: 首先,我们要了解到,当白光照射在透明薄膜上时,会分别在薄膜的上表面和下表面产生反射。这两束反射的光将会产生干涉。由于薄膜的折射率不同,这两束光在薄膜中行进的路径长也不同,因此会产生相位差,这个相位差就决定了干涉的强度。
薄膜是指厚度在纳米到几个微米范围内的材料,在电子器件、涂料等领域得到了广泛应用。薄膜的厚度是影响其性能和功能的重要因素,因此准确测量薄膜厚度具有重要意义,特别是在制造过程中。本文将介绍一种用于测量薄膜厚度的方法-白光干涉法。 二、薄膜厚度的测量 在薄膜制备和应用过程中...
实验2.12利用白光干涉测定薄膜厚度测量
利用薄膜干涉光学原理,对薄膜进行厚度测量及分析。用从深紫外到近红外可选配的宽光谱光源照射薄膜表面,探头同位接收反射光线。白光干涉薄膜厚度测量仪Delta根据反射回来的干涉光,用反复校准的算法快速反演计算出薄膜的厚度。测量范围1nm-3mm,可同时完成多层膜厚的测试。