通过光源发出的宽波长频带光照射目标物,利用干涉光的大小与参照面到目标物的距离成正比的原理,结合高亮度的彩色光源、高效率的光学镜组和高灵敏度的电子器件,实现了高空间分辨率的测量精度。该技术具有宽范围工作距离、适用于薄膜、薄层玻璃测厚等优点,能够提高测量效率和抑制外部干扰。关键词:白光干涉、薄膜厚度、...
首先,我们要了解到,当白光照射在透明薄膜上时,会分别在薄膜的上表面和下表面产生反射。这两束反射的光将会产生干涉。由于薄膜的折射率不同,这两束光在薄膜中行进的路径长也不同,因此会产生相位差,这个相位差就决定了干涉的强度。 如果我们知道薄膜的折射率,那么就可以通过测量干涉的强度来确定薄膜的厚度。具体的计算...
白光干涉法是一种利用光程差特性来计算薄膜厚度的方法。在一束白光入射到薄膜表面时,由于不同厚度的薄膜会使得入射光的反射光和透射光之间产生相位差。这种相位差可以通过带有裂隙的反射镜的干涉来测量。因此,通过测量干涉图案中的明暗条纹,就可以计算出薄膜的厚度。白光干涉法不仅能...