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干涉测量技术的应用 1、在工业生产中的应用：（1）半导体制造：在半导体芯片制造过程中，白光干涉仪可用于测量芯片表面的形貌、薄膜厚度、台阶高度等参数，对芯片的制造工艺进行监控和质量检测。例如，在光刻工艺后，可检测光刻胶的厚度和表面平整度；在刻蚀工艺后，可测量刻蚀深度和表面粗糙度，确保芯片的性能和可靠性...
SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像,通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析,并获取反映器件表面质量的2D、3D参数,从而实现器件表面形貌3D测量...
航空航天领域:在航空航天领域,白光干涉仪可用于飞机发动机叶片的表面形貌测量、飞机机身的表面平整度检测、卫星零部件的尺寸精度测量等,为航空航天设备的制造和维护提供高精度的检测手段。在这个对精度要求极高的领域,具备双重防撞保护功能的白光干涉仪能够确保测量过程的安全可靠,为航空航天事业的发展提供有力支持。 双重...
优可测微观三维形貌仪 400μm/s扫描 角度特性高 纳米级台阶测量仪 ￥30.00万 查看详情 优可测白光干涉仪 晶圆刻蚀槽深度测量 芯片尺寸测量仪 粗糙度测量 ￥30.00万 查看详情 优可测非接触式台阶仪 微纳表面粗糙度检测 PSI模式快速检测效率高 ￥80.00万 查看详情 优可测粗糙度仪 陶瓷基板粗糙度平面度切割深...
白光干涉仪是一种利用白光干涉技术进行精密测量的设备,主要用于对各种精密器件的表面进行纳米级测量。它的工作原理是:光源发出的光经过扩束准直后,通过分光棱镜分成两束。一束光照射到被测表面上并反射回来,另一束光则照射到参考镜上并反射。两束反射光在空间中相遇并发生干涉,干涉条纹通过显微镜被转化为电信号,进而通...
在工业生产、科研领域，精准测量材料厚度常常起着决定性作用。从电子设备的精细薄膜，到汽车制造的零部件，再到航空航天的关键组件，材料厚度的精准把控，直接关系到产品质量与性能。而在众多测厚技术中，白光干涉测厚仪凭借其超高精度与先进原理，脱颖而出，成为众多专业人士的得力助手。今天，就让我们一起深入了解这...
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