1、稳定的温、湿度控制: 白光干涉仪对温湿度的稳定性要求较高,因为温湿变化会影响光学元件的尺寸和折射率,从而影响干涉图样的稳定性和测量精度。通常要求在在温湿度变化较小的环境中操作。 2、低振动环境: 由于白光干涉仪对于光路的稳定性和相位测量的敏感性,要求在低振动的环境中使用,避免气流、建筑晃动、周边设备...
白光干涉仪的测量精度体现在以下3点：① RMS重复性：普通实验室环境下，依据 ISO 25178 国际标准测量30...
白光干涉仪是一种非接触式的测量技术,专门用于测量表面轮廓和微小位移等高精度任务。通过使用一个迈克尔逊干涉仪系统和氙灯光源,我们可以在VirtualLab Fusion中进行仿真。建模时,我们考虑了光源中有限相干长度等光谱特性,结果发现只有当两臂的路径长度基本相同时,才会出现干涉图样。 建模任务 📚 首先,我们需要设置输入场。
粗糙度、台阶高度是白光干涉仪最擅长的测量工作。 小优博士也重点说明过在此类测量应用的优势。 白光干涉的超高精度,会让很多评估者无从下手。 怎么验证一台白光干涉仪的高度测量能力? 小优博士给您支招。 非常简单! 只需准备“SiC硅片” 和 “标准台阶块” ...
数据读取与分析：通过软件读取测量数据，观察拟合波形与实际反射率波动的吻合程度。分析间隙厚度的均匀性，并记录实验结果。五、实验结果 在260nm~2400nm的范围内，软件能够准确读取读数，并且拟合波形与实际反射率波动基本吻合。这表明白光干涉测厚仪在该范围内具有较高的测量精度和可靠性。然而，由于实验条件限制和调整...
岱美仪器的白光干涉仪是一种基于白光垂直扫描干涉测量、移相干涉测量和单色光垂直扫描干涉测量技术的设备。它以纳米级的测量准确度和稳定性,定量地反映被测件的表面粗糙度、表面轮廓、台阶高度、关键部位的尺寸及其形貌特征。白光干涉仪广泛应用于集成电路制造、航空航天、精密加工、表面工程技术、材料科学和太阳能电池技术...
白光干涉仪，这一超高精度的光学3D轮廓仪，在超精密加工领域一直发挥着至关重要的作用。虽然它在多数情况下被用于测量平面类型零件的表面粗糙度，但面对一些特殊行业及领域中具有曲面特征的零部件，如何克服其形状不规则、装夹不便以及单次测量效率低下等问题，一直是一个亟待解决的挑战。为了应对这一难题，中图仪器经过...
白光干涉仪是一种利用光的相位差变化来测量物体表面形貌和粗糙度的精密仪器。其原理是将白光源经过分光镜分成两束光,分别照射待测物品表面,然后再将两束光合并在一起,产生干涉条纹,通过观察干涉条纹,就可以测量物品表面的粗糙度和形貌。 白光干涉仪测量粗糙度的精度主要受到光源波长、测试距离和物品表面...