GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法.pdf,ICS77.040 CCSH21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT14146 2021 代替 / — GBT14146 2009 硅外延层载流子浓度的测试 电容 电压法 - — Testmethodforcarrierconcentrationofsiliconeitaxiallaers p y Caacitance
2018年9月,由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会组织,在新疆乌鲁木齐召开《硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法》第一次标准工作会议(讨论),共有浙江金瑞泓科技股份有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料检验质量中心等13家单位的21名专家参加了会议,与会专家对标准的讨论稿认真地进行了逐字...
本文件规定了电容-电压法测试硅外延层载流子浓度的方法,包括汞探针电容-电压法和无接触电容-电压法。 本文件适用于同质硅外延层载流子浓度的测试,测试范围为4×1013 cm-3 ~8×1016 cm-3 ,其中硅外延层的厚度大于测试偏压下耗尽层深度的两倍。硅单晶抛光片和同质碳化硅外延片载流子浓度的测试也可以参照本文件进行,...
标准号: GB/T 14146-2021 标准名称: 硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法 英文名称:Test method for carrier concentration of silicon epitaxial layers—Capacitance-voltage method 标准状态:现行 发布日期: 2021-05-21 实施日期: 2021-12-01 出版语种:中文简体 ...
1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)～10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟,也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。 购买 正式版
GB/T 14146-2021硅外延层载流子浓度的测试 电容-电压法.pdf,ICS77.040 CCSH21 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT14146 2021 代替 / — GBT14146 2009 硅外延层载流子浓度的测试 电容 电压法 - — Testmethodforcarrierconcentrationofsiliconeitaxiallaers p y Caacitance
主要工作过程立项之后成立了标准修订小组落实标准涉及范围检测和参与单位沟通等工作于2018月21日由全国有色金属标准化技术委员会组织在新疆乌鲁木齐召开硅外延层载流子浓度的测试电容电压法第一次工作会议共有浙江金瑞泓科技股份有限公司中国计量科学研究院浙江省硅材料检验质量中心等家单位的名专家参加了会议与会专家对标准的...
2019年9月25日,由全国有色金属标准化技术委员会组织,在江苏宜兴召开《硅外延层载流子浓度的测试电容-电压法》预审会议,共有浙江金瑞泓科技股份有限公司、中国计量科学研究院、浙江省硅材料检验质量中心等**家单位的**名专家参加了会议,与会专家对本标准的标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论,形成了修改建议...
SJ 3244.4-1989的仪器谱信息,1.1 本标准规定了电化学电压电容法测量的原理、仪器和电解液要求、测量步骤、测量结果的计算。 1.2 本标准适用于载流子浓度10^(14)～10(19)cm^(-3)的n型和P型砷化镓、磷化铟,也适用于铝镓砷和镓铟砷磷材料载流子浓度剖面分布的测量。砷化镓和磷