电子回旋共振源是一种无阴极源。它具有电离度高，形成的等离子体密度高，束流强度大，性能稳定可靠等优点。这些特点不仅降低了离子源造价，而且能长期提供稳定的高品质离子束。在离子注入、离子刻蚀、薄膜技术、辐照育种、材料表面改性、离子束沉积等工农业、医学与科研领域得到广泛的应用。结构 结构如图1所示等离子体弧...
如图所示,根据电磁场原理,速度为V(方向平行于纸面)的电子在一个均匀恒定电磁(垂直纸面向里)中,电子受到垂直与运动方向的向心力,如果没有其它作用的影响情况下,电子将做匀速圆周运动,其角频率Wce可以表示为: 状态2:均匀磁场+时变电场(电子回旋加速) 如下图所示,如果电子在磁场中圆周运动时,有一个变化的电场,其...
电子回旋共振(Electron Cyclotron Resonance,简称ECR)是一种基于电子在磁场中回旋运动的物理现象,该技术已被广泛应用于等离子体物理、材料科学以及半导体技术等领域。在半导体行业,ECR技术主要用于测定半导体的关键参数,从而评估材料的性能与可靠性。 一、电子回...
ITER实现其目标的关键在于发展高功率源和先进的波传输与注入设备。尤为重要的是,ITER在科学研究运行前,决定对电子回旋共振系统(ECRH)进行升级,增加大量额外的电子回旋共振加热功率,作为加热和电流驱动功率改进组合的一部分。 第22届电子回旋辐射(ECE)和电子共振加热(ECRH)研讨会于4月22日至26日在韩国大田举行,此次...
电子回旋共振加热 电子回旋共振加热（electron cyclotron resonance heating）是1993年公布的电子学名词，出自《电子学名词》第一版。公布时间 1993年，经全国科学技术名词审定委员会审定发布。出处 《电子学名词》第一版。
电子回旋共振是电子在磁场中做圆周运动的现象,当电子回旋的频率等于射频场的频率时,电子会吸收能量,从而达到激发离子的目的。电子回旋共振离子源利用了这一现象,通过加强电子的回旋运动,增加电子与气体分子碰撞的可能性,使气体分子离子化,产生离子束。 二、离子源的构成 电子回旋共振离子源由离子...
电子回旋共振技术可以应用于半导体材料中电子有效质量的测定。首先将半导体样品置于磁场中,并且将微波辐射进入样品中。通过调整磁场的大小,可以让电子在固定能量下产生回旋共振。同时,微波的频率也会发生改变,使得微波谱线对应移动。通过测量微波谱线对应的磁场强度,可以获得电子的有效质量。 四、电子回旋共振技术在半导体材料...
电子回旋共振离子源 电子回旋共振离子源是一种用于物理学领域的核仪器，于2015年11月6日启用。技术指标 电压：20 kV，离子束Ar8+：10uA。主要功能 提供高电荷态离子束流。
电子回旋共振能谱仪,简称ECR能谱仪,是一种基于电子回旋共振原理的精密分析仪器。它通过测量电子在磁场中的回旋频率来确定样品的能级结构和化学环境,为科学研究和工业应用提供了有力的分析工具。 一、电子回旋共振能谱仪的工作原理 电子回旋共振能谱仪的工作原理主要基于...