虽然射频放电提高了等离子体密度,也可以实现无极放电,但运行气压较高,密度、电离率、粒子活性仍然较低.随着各领域应用技术的飞速发展,人们迫切期望采用低气压、高密度等离子体加工技术.通过借鉴热核聚变中等离子体产生和加热原理,发展并形成了微波电子回旋共振(elec2troncyclotronresonance,ECR),它在各应用领域,尤其是...
内容提示: 半导体技术1 3 9 9.2,No.l新型电 子回旋 共振( E C R )等 离子体 刻 蚀技 术四川 压电 与声光 技 术研 究所( 永川6 3 2 16 4 )刘一声1 9 9 2年6 月 13 日 收到摘 要:刻 性技 术是制作微电子、光电子和声电器件十分重要的工艺。射频、微波 电子 回旋共振 ( E C R ) ...
, 2002 Ju l文章编号 : 1001 2 4322 (2002 ) 04 2 0566 2 05电子回旋共振微波等离子体技术及应用张继成 , 唐永建 , 吴卫东( 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心 , 四川 绵阳 621900 )① 摘要 : 电子回旋共振微波等离子体技术 ( ECR 2等离子体刻蚀和薄膜制备 , 尤其是高 M P ) 在表面处理、品质...
为了控制薄膜的成分、晶体结构、 晶粒大小和缺陷, 必须研究膜制备技术, 开发新的膜制备方法。微波E C R 等离子体方法来源于可控核聚变研究中的电子回旋共振加热( E C R H )技术。 经过二十多年的研究与发展, 8 0 年代起逐步被开拓应用到材料科学中来。 E C R 等离子体比D C 、 R F 放电产生的等离子...
采用磁近管方式溅射的电子回旋共振等离子体沉积技术的研究 磁控管方式溅射ECR等离子体氧化锌薄膜蒋磁控管方式溅射用于微波ECR等离子体沉积技术。在低气压和下沉积了高度C轴取向的ZnO薄膜,其膜的沉积速率比普通CER溅射中所得到地速率大得多,并且在Φ12cm的膜区域内显示出良好的均匀性。汪建华邬钦崇半导体技术...
摘要: 微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术,它具有优良的综合指标,提高了微电子,光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平.文章介绍了电子回旋共振等离子体产生原理,特点及重要的实验研究结果关键词: 电子回旋共振;等离子体源;微波传输 ...
摘要:用电子回旋共振等离子体进行了硅基材料的刻蚀技术研究,进行了沟槽刻蚀实验,得到了较为陡直的侧壁。制作 了精细图形,等离子体损伤较低。 关键词:电子回旋共振;等离子体;刻蚀;硅 中图分类号:TN405.98文献标识码:A文章编号:1002-8935(2004)02-0061-03 随着超大规模集成(VLSI)技术的发展,新的器 件结构和新型材...
电子回旋共振(ECR)等离子体技术在材料科学中的应用 电子回旋共振(ECR)微波放电等离子体是当今大规模和超大规模集成电路制作中的高新技术.它具有大面积均匀,高密度,低电位的等离子体,是沉积各种薄膜和刻蚀的重要工具.本... 陈俊芳 - 《咸宁师专学报》 被引量: 3发表: 1994年 微波电子回旋共振等离子体数值模拟 等离...
采用Langmuir静电单探针和双探针诊断技术对微波电子回旋共振(ECR)装置产生的低温低气压氮气等离子体进行诊断.测量了等离子体密度随微波功率,轴向距离,径向距离的变化关系以及电子温度随轴向距离的变化关系.采用3种不同理论计算等离子体密度;分别采用单探针与双探针测量电子温度.结果表明,由饱和电子电流计算得到的电子密度与...
电子回旋共振等离子体技术 3 丁振峰 邬钦崇 任兆杏 中国科学院等离子体物理研究所 合肥 230031 摘要 微波电子回旋共振是一种先进的低温等离子体技术 它具有优良的综合指标 提高了 微电子 光电子集成电路制造工艺等应用领域中的低温等离子体加工水平 文章介绍了电子回旋共 振等离子体产生原理 特点及重要的实验研究结果 ...