电子束蒸镀金膜表面黑色颗粒形成的机理研究 摘要:采用电子束蒸镀金膜时,会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,这些黑色的颗粒形状大多不规则,尺寸集中在100 nm^-1μm之间,传统的蒸镀理论较难解释这些黑色颗粒的成因。本文尝试提出液态金属表面热发射电子引起液面上杂质颗粒“尖端放电”的理论来解释这一现象。这类...
采用电子束蒸镀金膜时,会有微小的黑色颗粒出现在金膜的表面,这些黑色的颗粒形状大多不规则,尺寸集中在100 nm^-1μm之间,传统的蒸镀理论较难解释这些黑色颗粒的成因.本文尝试提出液态金属表面热发射电子引起液面上杂质颗粒"尖端放电"的理论来解释这一现象.这类电晕放电造成颗粒附近温度极高,瞬间将颗粒蒸发沉积在衬...