1、电子束物理气相沉积(EB-PVD)金属灯丝在高温状态下内部的一部分电子获得足够大的能量时会溢出金属表面，发射出热电子，热电子在电磁场作用下高速运动，形成电子束轰击靶材表面，电子的动能变成热能，使材料表面快速升温而蒸发。20世纪60年代，乌克兰巴顿电子焊接研究所在采用EB-PVD设备制备厚膜及体材料技术方面做了深入...
摘要: 本文从电子束物理气相沉积设备的组成,主要部件,真空度,冷却结构等四个方面八手,重点讨论了电子束物理气相沉积设备的工作原理,研究了电子枪,离子清洗装置,真空度等设计参数,提出了电子束物理气相沉积设备结构设计建议.关键词: 物理气相沉积;电子束;电子枪;离子清洗 ...