两者在适用范围上各有侧重,电子束曝光机更适用于微小复杂结构,光刻机则更适合大规模生产。精度方面,电子束曝光机更胜一筹,能实现极高精细度,而光刻机虽受光源限制,但仍能满足半导体制造等领域的精度需求。综上所述,电子束曝光机与光刻机虽同为微细结构制造工具,但在工作原理、适用范围及精度上各有千秋。
电子束究竟有多厉害?先进制程靠它了! 大家好,我是中国电子报记者沈从。随着芯片制成的不断缩小,对芯片制造设备的要求越来越高,这也使得具备波长较短性质的电子数设备越来越受到关注。 我今天来到了东方金源微电子科技有限公司北京总部。东方金源是目前