1. 电子探针显微分析仪的原理 当具有足够能量的聚焦电子束在轰击试样表面时,入射电子会与试样的原子核以及核外电子发生弹性/非弹性散射作用,并激发出背散射电子、二次电子和特征X射线等反映试样形貌结构以及组成的信号,如图一所示。 图一 电子探针显微分析仪(EPMA)的原理图 电子探针有三种基本工作方式:点分析用于选...