摘要21世纪以来,扫描探针显微镜(scanning probe microscope,SPM)在微纳尺度形貌表征、物性测量及微纳加工等领域发挥着越来越重要的作用。为了使扫描探针显微镜获得更稳定的运行环境、更高的能量分辨率,人们研发了具备超高真空(ultra high vacuum,UHV)和低温(low temperature,LT)环境的SPM系统(UHV-LT-SPM)。目前,大多数...
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N13组和N04组长期合作,陆续在尖端科研仪器装备自主研发方向取得一系列有影响力的重要进展,包括:一套商业化四探针SPM系统的彻底改造【Review of Scientific Instruments, 88, 063704, (2017)】,超高真空光学-低温扫描探针显微镜联合系统的研制【Review of Scientific Instruments 89, 113705 (2018)】和应用于多探针显微镜...
可选工作模式:导电原子力显微镜 (C-AFM),磁力显微镜(MFM),静电力显微镜(EFM),扫描电势显微镜(SKPM)。 低温扫描探针显微镜具有软件自动进针功能。通过软件控制Z方向马达实现探针自动进针 X,Y,Z三轴分离的扫描器。 扫描范围 100×100×17μm Z轴分辨率0.035nm 样品台尺寸:25mm*25mm*18mm 操作软件:使用Laview环境...
低温强磁场扫描探针显微镜是一种用于物理学、化学领域的计量仪器，于2014年9月18日启用。技术指标 1. 扫描探测温度可降至1.8K；2. 可加外部垂直磁场，最高可达8T。主要功能 1. 具有原子级的超高空间分辨率，并能实时观测表面形貌，可用于研究表面物理和化学性质；2. 具有极高的能量分辨率，可以进行扫描隧道谱探测...
超高真空低温扫描探针显微镜系统是一种用于物理学领域的分析仪器，于2016年12月28日启用。技术指标 1、系统扫描范围:5微米 *5微米（室温）、2微米 * 2微米（77 K）、1微米*1微米(4 K)； 2、STM成像空间分辨率：＜1 ？（横向）、＜0.1 ？（ 纵向）； 3、系统噪声水平：电子学噪声＜500fA，机械噪声＜5pm...
图1 新一代无液氦亚3K低温扫描探针显微镜的三维模型和原理图 该系统颠覆了现有无液氦SPM近端安装制冷机的方式,将低频大幅震动的制冷机安装在远端的独立制冷腔体。通过数月的连续测试验证,该设备实现了~2.8K的基础温度、接近±0.1mK的温度稳定性、约1pm震动水平、小于10pm/h的温度漂移,能够从低温到室温宽温区内连续...
超高真空低温扫描探针显微镜是一种用于化学领域的分析仪器，于2017年4月28日启用。技术指标 真空：1×10-10 mbar。最低工作温度：5 K。温度稳定性：10 mK。可变温度范围：5K-300K。液氦消耗量：小于0.1L/小时 (5K)。扫描范围：1 μm ×1 μm×0.1 μm (5K)。热漂移：0.2 nm/小时。振动噪音：2 pm...
低温扫描探针显微镜系统是一种用于物理学、材料科学领域的分析仪器，于2017年1月22日启用。技术指标 本台原位扫描隧道电子显微镜是一台多功能扫描探针显微镜，可用于各种外延生长低维半导体材料的表面形貌表征、IV测量、高分辨原子成像等，扫描精度可达0.1纳米。主要功能 可用于各种微纳材料的表面形貌表征、IV测量、高...