一种滤波器及其制作方法,电子设备,滤波器包括第一电感(L1),滤波器还包括:衬底基板(1),多个导电柱(11),第一导电层,第二导电层,衬底基板(1)的侧面上形成多个贯穿衬底基板的通孔(TGV);多个导电柱(11)与通孔(TGV)对应设置,导电柱(11)填充于与其对应的通孔(TGV)内,导电柱(11)用于形成第一电感(L1)线圈的...
本发明涉及一种声表面波滤波器及其制作方法,电子设备,每相邻两个结构单元之间连接一个所述电容换能器,由于电容换能器接地,使电容换能器起到了对地电容的作用,能有效提高声表面波滤波器的矩形度,进而提高声表面波滤波器的滤波性能,而且,通过将至少两个结构单元进行串联使用,能起到滤波性能线性叠加的技术效果即随着...
第二导电层设置于周侧面上,且与第一导电层连接.导电图形设置于第二表面上,并与第二导电层电连接.其中,第一导电层与第二导电层用于将汇聚于导电图形上的电荷通过与第一导电层接触的承片台导出,避免了在制作滤波器的过程中静电损伤导电图形.本申请还提供一种滤波器结构的制作方法,一种滤波器芯片以及一种电子设备...
本申请公开了一种体声波谐振器及其制作方法,滤波器以及电子设备,将空腔设置为上凸空腔和下凹空腔两部分,解决了完全下凹空腔研磨时产生的台阶问题,以及解决了完全上凸空腔稳定性差和其上薄膜生长缺陷大的问题.并且设置上凸空腔的高度小于下凹空腔的高度,可以减小薄膜沉积时的应力和形变,最大程度保证了结构的稳定性....
本申请公开了一种体声波谐振器及其制作方法,滤波器及电子设备,该体声波谐振器包括基底和沿背离基底方向依次排布的声反射结构,底电极,压电层和顶电极,底电极背离基底的表面设置有第一凹陷,在底电极背离基底的一侧形成压电层时,第一凹陷的形貌传递到压电层背离基底的表面,在压电层背离基底的表面形成第二凹陷,压电层各...
本申请公开了一种体声波谐振器及其制作方法,滤波器及电子设备,该体声波谐振器包括基底和沿背离基底方向依次排布的声反射结构,底电极,压电层和顶电极,底电极背离基底的表面设置有第一凹陷,在底电极背离基底的一侧形成压电层时,第一凹陷的形貌传递到压电层背离基底的表面,在压电层背离基底的表面形成第二凹陷,压电层各...
本申请提供了一种谐振器及其制作方法,滤波器,电子设备,涉及谐振器领域,能够抑制谐振器的杂散谐波.该谐振器包括:压电基板,设置在压电基板上的叉指换能器;压电基板包括依次层叠设置的衬底,反射层,压电层;叉指换能器包括:第一汇流条,第二汇流条,以及位于第一汇流条和第二汇流条之间并列,依次交替设置的第一叉指...
本申请公开了体声波谐振器及其组件和制作方法,电子设备,滤波器,体声波谐振器包括:衬底;第一电极,第一电极与衬底之间具有声波反射结构;第二电极,第二电极与第一电极之间具有压电层;在垂直于衬底的方向上,声波反射结构,第一电极,压电层和第二电极的重叠区域为有效区域;在平行于衬底的方向上,有效区域包括相对设置的第...