本申请公开了一种体声波谐振器及其制作方法、滤波器及电子设备,该体声波谐振器包括基底和沿背离基底方向依次排布的声反射结构、底电极、压电层和顶电极,底电极背离基底的表面设置有第一凹陷,在底电极背离基底的一侧形成压电层时,第一凹陷的形貌传递到压电层背离基底的表面,在压电层背离基底的表面形成第二凹陷,压电层...