深紫外光源的波长范围为240-400纳米,而极紫外光源的波长范围为13.5纳米左右。可以看出,两者的波长相差很大,这也是它们在光刻技术中应用的主要区别之一。 二、光源类型 深紫外光源通常使用氙灯、汞灯等光源,而极紫外光源则采用激光等光源。因为极紫外光源的波长非常短,所以需要使用高能...
深紫外光刻技术与极紫外光刻技术,作为半导体制造中的两大关键光刻手段,存在显著区别。首先,在波长方面,深紫外光刻技术采用248nm的波长,而极紫外光刻技术则运用更短的13.5nm波长,这使得极紫外技术在分辨率上占据明显优势,更适宜制造超微细电路。其次,从成本角度考虑,极紫外光刻技术作为新兴技术,其设备与投资成本均高于深...
1.波长不同 深紫外光刻机使用的波长为248nm,而极紫外光技术则使用的波长为13.5nm,因此极紫外光技术具有更高的分辨率和更大的潜力来制造超大规模集成电路。 2.设备成本不同 极紫外光技术是一种全新的技术,设备成本和开发成本都高于深紫外光刻机。目前,只有少数公司具备开发...