氧化锌薄膜制备是一种常见的薄膜制备技术,它可以通过多种方法来实现,包括物理蒸发、热氧化、溶胶-凝胶法、磁控溅射和化学气相沉积等。其中,物理蒸发和热氧化法是比较简单易行的方法,但是它们所制备的氧化锌薄膜质量较低,因此在实际应用中不太适用。溶胶-凝胶法和磁控溅射法则能够制备高质量的氧化锌薄膜,但是它们的设备...
X射线衍射（XRD）是表征氧化锌薄膜晶体结构的关键技术。ZnO薄膜通常以六方晶系形式存在，优异的薄膜往往表现为（002）面取向。通过XRD可获得薄膜的晶粒尺寸、晶体取向以及结晶度等信息，从而判断薄膜的生长质量。晶粒尺寸：晶粒尺寸对薄膜的电子性能有重要影响。较小的晶粒可以提高薄膜的电学性能，增加载流子迁移率。取向...
化学气相沉积法是一种制备氧化锌导电薄膜的有效方法。将氢氧化锌、环己烷、乙酸铝等混合物作为前驱体,通过高温分解反应,在基底表面上生长出氧化锌薄膜。 制备步骤: 1.制备前驱体混合物:将氢氧化锌、环己烷、乙酸铝混合,控制混合比例,将其溶解在异丙醇溶液中,制成粘稠的混合物。 2.基底清洗:将基底用...
氧化锌薄膜是一种可见光透射率高达90%的理想透明导电膜,其电阻率低至10-4Ω·cm。氧化锌铝(AZO)薄膜具有更好的透明度和导电性,其透射率为91%,电阻率为10-5Ω·cm,因此AZO薄膜已逐渐成为ITO(In2O3:Sn)薄膜的替代材料。 2氧化锌薄膜的制备 不同的应用对氧化锌薄膜的结晶取向、薄膜厚度、表面平整度以及光电...
在0.1%和1.0% HNO溶液中通过湿法化学刻蚀制备了多孔氧化锌薄膜。XRD光谱显示,本研究中使用的ZnO样品具有纤锌矿结构,具有ZnO(002)择优取向。随着氧化锌层被蚀刻,发现氧化锌(002)和氧化锌(101)的强度水平降低。这种行为归因于(002)以及(101)在蚀刻过程中。表面形貌和截面扫描电镜图像显示,刻蚀过程中的各向同性刻蚀...
研究中，他们先是研究了基于氧化锌半导体的薄膜晶体管，通过大量的实验，开发了单个器件的制备工艺，做了大量的材料表征（例如 X 射线衍射、X 射线光电子能谱等）和电学表征工作，借此得到了稳定、可靠的高性能薄膜晶体管。李毅达展望称：“我们相信再通过适当的工艺优化和验证，有望继续突破现有的性能，最终引入先进...
二、氧化锌薄膜的制备方法 氧化锌薄膜是一种重要的材料,在光电领域、传感器领域、液晶显示等领域都有广泛应用。现有的氧化锌薄膜制备方法有溅射法、化学气相沉积法、电化学法等。而醋酸锌的热分解法制备氧化锌薄膜则是一种经济、简便的方法。 三、实验结果和理论分析 通过一系列实验...
采用射频磁控溅射系统制备氧化锌薄膜 本文介绍了我们华林科纳采用射频磁控溅射系统,在衬底温度为275°C的氩气气氛下,在玻璃衬底上制备了氧化锌薄膜,将沉积的氧化锌薄膜在稀释的盐酸中蚀刻,制备出表面纹理的氧化锌。研究了合成膜的形貌、光学和电学性质对蚀刻剂浓度的影响,得到了具有良好捕光特性的高效表面纹理氧化锌...
氧化锌薄膜的制备, 采用浸涂法进行。其调制方法如图2所示。将基板浸入用1.1中记述的方法调整的前驱体溶液中后, 以5mm/sec的速度上拉制成前驱体薄膜。基板使用氧化铝坡(40×12mm2),为了制备均匀的薄膜,除去基板表面的杂质是很重要的,因此基板的前处理采用盐酸煮沸清洗、超声波清洗、再用水煮沸清洗进行自然干燥。浸涂...