化学气相沉积法是一种制备氧化锌导电薄膜的有效方法。将氢氧化锌、环己烷、乙酸铝等混合物作为前驱体,通过高温分解反应,在基底表面上生长出氧化锌薄膜。 制备步骤: 1.制备前驱体混合物:将氢氧化锌、环己烷、乙酸铝混合,控制混合比例,将其溶解在异丙醇溶液中,制成粘稠的混合物。 2.基底清洗:将基底用...
这是一种制备银/氧化锌复合薄膜的方法,其特征是包括以下步骤:(1)将锌的化合物和硝酸银粉末溶解于有机溶剂中,锌的化合物:硝酸银:有机溶剂的摩尔比为1:(0.01～0.35):(5～20),将混合物放人冰水浴中搅拌,得A液;(2)将水,络合剂和有机溶剂按摩尔比1:(0.1～2):(6～18)混合并不断搅拌,得B液;(3)将B液...
1.一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,包括如下步骤: (1)将衬底放置于原子层沉积设备反应腔中; (2)向所述原子层沉积设备反应腔中通入含锌前驱体源,所述含锌前驱体源中的锌原子吸附于所述衬底表面; (3)向所述原子层沉积设备反应腔中通入含氮前驱体源,然后通过等离子体将所述含氮前驱体源电离,电离后所述...
1.一种氧化锌薄膜的制备方法,其特征在于,所述制备方法包括如下步骤: 提供锌前驱体盐溶液,混合加入络合剂后,混合加入过氧化物,形成混合反应体系,反应得到氧化锌晶粒溶液; 提供基板,将所述氧化锌晶粒溶液在所述基板上成膜,得到所述氧化锌薄膜。 2.如权利要求1所述的制备方法,其特征在于,在25°C-40°C条件下,混...
本实验中的AZO薄膜采用原子层沉积方法(ALD)制备的薄膜。实验时,衬 底采用单晶Si片,经过有机,无机,去离子水清洗和烘干后,将其放入ALD腔 体。在制备薄膜前,通用惰性气体氮气冲洗基片表面。最大限度地提高Si片表面 的清洁程度,且改善基片表面与薄膜之间的吸附力。 在制备过程中,我们采用三甲基铝,二乙基锌和水做为...
专利摘要：本发明涉及显示技术领域，提供了一种氧化锌薄膜的制备方法，包括以下步骤：配制氧化锌颗粒和卤离子有机盐的混合溶液；将所述混合溶液沉积在基板上，退火处理，制备氧化锌薄膜。本申请提供的氧化锌薄膜的制备方法，卤离子有机盐能够吸附在氧化锌的晶面，并显著调控薄膜晶型生长过程，从而优化氧化锌薄膜的成膜...
一种电学器件用al掺杂的氧化锌薄膜制备方法,其所用的设备同实施例1,该方法包括如下步骤: (1)将zno靶材10和al2o3靶材11安装在靶材架13上,其中al2o3靶材在zno靶材正上方且紧密接触,靶材位于石英管1中部,将清洗过的玻璃基板12放置在石英管1中部,靶材与玻璃基板12中心位置的水平距离为1.5cm。开启真空泵3对石英管...
本发明公开了一种纳米氧化锌薄膜的制备方法,1)取表面具有锌的锌基材,表面清洗或除氧化皮,备用;2)配制浓度为0.05mol/L～饱和的铜盐溶液,将锌基材放入铜盐溶浸润1秒～1分钟,取出自然干燥;3)将浸润后的锌基材在400～550℃在含氧气氛中保温30分钟～48小时,得到表面具有纳米墙结构的纳米氧化锌薄膜。本发明通过在锌...
摘要: 一种制备氧化锌(ZnO)薄膜的方法,其中ZnO薄膜的表面形状可在ZnO薄膜的沉积过程中得到控制。该方法包括:通过化学气相沉积法(CVD)在基板上沉积ZnO薄膜。CVD在供应源气体和氧化剂气体的同时,供应蚀刻ZnO薄膜的蚀刻气体,从而控制正在沉积的氧化锌薄膜的表面形状。
本发明实施例提供了氧化锌薄膜的制备方法。该制备方法包括如下步骤: 步骤s11:提供溶解有锌前驱体盐和镉前驱体盐的混合溶液。 在本发明实施例中,锌前驱体盐为可溶性无机锌盐或可溶性有机锌盐,包括但不限于醋酸锌、硝酸锌、氯化锌、硫酸锌、二水合乙酸锌中的一种;镉前驱体盐为可溶性无机镉盐或可溶性有机镉盐,包括但...