1998 - 王效东,毛敏耀 - 《微细加工技术》 - 被引量: 6 收藏相关文章 Patterning of CVD Diamond Films For MEMS Application 1998 - Wang, Xiaodong,Yang, Yirong,Ren, Congxin,... - 被引量: 0 收藏相关文章 金刚石薄膜选择生长技术 1998 - 王效东 - 《仪表技术与传感器》 - 被引量: 0 收藏相关文...
值得注意的是,芯动联科设立时,MEMSLink5000万元、北京芯动4000万元的出资方式均为知识产权出资。 招股书显示,MEMSLink以其拥有的三轴陀螺传感器、消除线性加速度响应的陀螺传感器、消除线性加速度响应的陀螺传感器、消除线性加速度响应的陀螺传感器四项美国专利技术及MEMS陀螺仪加工工艺技术一项专有技术合计作价...