从三种方法的工艺原理上看, APCVD 、 LPCVD 是热激活并维持化学反应发生,而 PECVD 是采用电能将反应气体等离子化从而热激活并维持化学反应发生的。 APCVD 工艺温度一般控制在气相质量输运限制区,采用冷壁式反应器,在薄膜淀积过程中应精确控制反应剂成分、计量和气相质量输运过程。主要缺点是有气相反应形成的颗粒物。
答:从三种方法的工艺原理上看,APCVD、LPCVD是热激活并维持化学反应发生,而PECVD是采用电能将反应气体等离子化从而热激活并维持化学反应发生的。 APCVD工艺温度一般控制在气相质量输运限制区,采用冷壁式反应器,在薄膜淀积过程中应精确控制反应剂成分、计量和气相质量输运过程。主要缺点是有气相反应形成的颗粒物。 LPCVD工艺...