Prober--- 与Tester分离的一种机械设备,主要的作用是承载wafer,并且让wafer内的一颗die的每个bond pads都能连接到probe card的探针上,并且在测试后,移开之前的接触,同时移动wafer,换另外的die再一次连接到probe card的探针上,并记录每颗die的测试结果。图(4)Probe Card---乃是Tester与wafer上的DUT之间其...
Prober--- 与Tester分离的一种机械设备,主要的作用是承载wafer,并且让wafer内的一颗die的每个bond pads都能连接到probe card的探针上,并且在测试后,移开之前的接触,同时移动wafer,换另外的die再一次连接到probe card的探针上,并记录每颗die的测试结果。 图(4) Probe Card---乃是Tester与wafer上的DUT之间其中一...
芯片测试主要分为两大类:抽样测试和生产全测。抽样测试主要验证、测试可靠性和特性,而生产全测主要用于挑出缺陷,筛选良品。ATE(Automated Test Equipment)和Tester是进行测试的工具,Test Program是执行测试指令的蓝图,DUT是实际被测的对象。3. 芯片测试的分类 从晶圆层面,直接测试技术确保每个die的性...