通过工作站的外部控制,结合测试程序,测试机能够分析待测晶圆上的电压、电流及时序信号等数据,从而判断晶圆的好坏。晶圆测试机由多个模块化电子硬件组成,如CPU控制模块、系统电源模块、向量存储器等,它们共同协作,完成对晶圆的高效测试。图4展示了晶圆测试机台的组成与基本控制原理。在集成电路测试领域,根据测试功能...
晶圆测试机的工作原理是将多片芯片同时放在一块较大的硅片上进行测试。 二、晶圆测试机的测试流程 晶圆测试机的测试流程包括了准备工作、测试、数据分析、故障诊断等多个步骤。 1.准备工作 准备工作包括晶圆载入、机器初始化以及与测试芯片连接。晶圆载入需要使用交换配件,将测试的晶圆置于测试架中,完成后装入晶...