机械吸盘靠物理夹持，就像我们用手捏住东西一样。而真空吸盘则是用真空的力量把晶圆紧紧吸住，两者都是接触式固定晶圆的高手。静电吸盘：电力魔法 静电吸盘就更神奇了，它用静电力来“粘”住晶圆。这种力量虽然看不见，但效果可是杠杠的！伯努利吸盘：隔空取物 伯努利吸盘最厉害，它用伯努利原理，就像武侠小说里的“...
晶圆静电吸附(ESC)详解 今天,我们来详细介绍一下剩下的一种比较常见的晶圆吸附技术-真空吸附。 什么是真空吸盘? 晶圆真空吸盘通常由坚硬的表面构成,表面上有许多小孔或通道。通过这些小孔,吸盘可以与真空泵连接,从而产生真空效应。 当晶圆放置在吸盘上时,真空泵被打开,通过小孔抽取空气,从而在晶圆和吸盘之间产生真空。
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晶圆真空吸盘通常设计为圆形，其直径会略大于晶圆的尺寸。常见的尺寸范围从直径50毫米一直到超过300毫米，多数吸盘采用同心圆环真空设计，以确保稳定的吸附效果。需要注意的是，不同尺寸的晶圆需要对应尺寸的吸盘，一般不可混用。例如，一个150毫米（6英寸）的吸盘专为150毫米晶圆设计，若需兼容4英寸晶圆，则可能需要额外...
伯努利吸盘是一种常见的无接触式吸附技术，利用气流的效应将物体固定在吸盘上。它基于伯努利原理，通过高速气流在吸盘表面形成低压区域，从而产生吸附力。优点：伯努利吸盘使晶圆与吸盘之间几乎没有物理接触。这有助于减少潜在的机械损伤和污染。使用惰性气体作为气垫，可以在各种温度和化学环境下稳定工作。可以调节气流以...
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晶圆吸盘中主要通过空气压强差原理实现吸附效果。通过将吸盘内部产生的负压与晶圆表面形成的正压进行配合,可以使晶圆吸附在吸盘上。晶圆吸附完成后,通过加压可以使吸盘内部的负压释放,从而实现将晶圆从吸盘上取下的操作。 四、晶圆吸盘的应用 晶圆吸盘在半导体加工领域的应用非常广泛,它可以实现对晶圆尺寸和位置的高度准确...
光刻机晶圆吸盘是光刻机的核心部件之一,用于固定晶圆,将其保持在正确的位置和姿态,并确保光刻机的高精度和高效率。根据用途和性能,可以将光刻机晶圆吸盘分为以下几类: 1.淋膜用吸盘:用于淋膜后的烘烤和后续的曝光和开发过程。 2.曝光用吸盘:用于曝光后的后续步骤,如显影、ETCH等...
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