潜在损伤风险: 如果真空失效或操作不当，可能会损坏晶圆。灵敏度: 对于极为脆弱或超薄的晶圆，机械真空吸附可能不是最佳选择。伯努利吸盘（Bernoulli Chuck）伯努利吸盘是一种常见的无接触式吸附技术，利用气流的效应将物体固定在吸盘上。它基于伯努利原理，通过高速气流在吸盘表面形成低压区域，从而产生吸附力。优点：伯努...
AMAT MxP-5200 P5000静电卡盘翻新维修 E-CHUCK 晶圆刻蚀静电吸盘开发 ￥9999.00 本店由搜了网运营支持 获取底价 无锡方克斯电子科技有限公司 商品描述 价格说明 联系我们 获取底价 商品描述 价格说明 联系我们 品牌 方克斯 是否支持加工定制 是 是否进口 否 尺寸 15cm 电源 220V 规格 150mm 适用范围...
静电吸盘(ESC,E—Chuck)又叫静电卡盘是一种利用静电原理产生吸附力的装置,是一种半导体工艺中硅片的夹持工具。主要负责固定和移动晶圆工件,可以保证精度和良品率,是半导体封装过程中的重要部分,接下来,带大…
半导体ESC静电卡盘翻新维修 E-CHUCK 晶圆刻蚀静电吸盘开发 ￥9999.00 本店由搜了网运营支持 获取底价 无锡方克斯电子科技有限公司 商品描述 价格说明 联系我们 获取底价 商品描述 价格说明 联系我们 品牌 方克斯 是否支持加工定制 是 是否进口 否 尺寸 15cm 电源 220V 规格 150mm 适用范围 芯片半导体设...
晶圆搬运吸附手持静电吸盘蚀刻离子注入氧化铝ESC E-CHUCK ¥ 8000.00 商品描述 价格说明 联系我们 咨询底价 品牌: 瑞沃 是否支持加工定制: 是 是否进口: 否 B泵压盘直径: 100mm 剥线范围: 111 步序记忆容量: 22kb 产品认证: 3c 电源: 220V 工作电压: 24V 功率: 10W 规格: 1200mm 加工...
该吸盘为进口产品,尺寸为1cm,规格1mm,适用于陶瓷吸盘及1.2共用CHUCK,广泛应用于半导体行业。店内拥有完善的服务体系,提供高效、安全可靠的维修服务,确保设备性能恢复如初。价格合理,售后完善。如果您对E-CHUCK晶圆刻蚀静电吸盘的翻新或维修有任何疑问,或对服务感兴趣,欢迎与我们联系,获取更多信息和定制化报价。
echuck晶圆吸盘原理 库仑力吸附原理:当对绝缘介质的上下两个极板之间外加电压U时,两极板之间会产生使其相互吸引的静电场力。在库仑力模型中,假设电介质层上表面与硅片层下表面皆为理想平面,两理想平面接触时中间形成一层厚度为g的空气层,对于库仑力模型中吸附力的计算可由相关模型推导得到公式。在这种情况下,电...
伯努利吸盘在晶圆制造中的应用与优势 在晶圆制造过程中，伯努利吸盘（Bernoulli grip或Bernoulli chuck）是一种不可或缺的吸附技术。它通过利用伯努利原理，即流速与压力的负相关关系，实现对晶圆的稳定吸附。这种吸盘设计独特，具有出色的吸附效果，在晶圆制造领域发挥着举足轻重的作用。在半导体制造中，伯努利吸盘的应用...
静电吸盘在半导体设备中十分常见,它被广泛用作半导体制造工艺(PVD、CVD、ETCH)中固定硅片。详细了解其原理,构造,有助于优化相关工艺。 什么是ESC? ESC,Electrostatic Chuck,即静电吸附。 当处理用于制造芯片的硅片和用于液晶面板的玻璃基板时,需要将它们吸附并固定在设备的真空室中。此时,传统的用爪子固定的方法很可能...
陶瓷真空吸盘是由多孔陶瓷材料制作,孔径分布均匀,内部相互贯通,表面经研磨后,光滑细腻,平整性好,广泛应用于硅、蓝宝石、砷化镓等半导体晶圆的制造环节。 图 陶瓷吸盘应用示意图,来源:RPS 一、什么是陶瓷真空吸盘 1、陶瓷真空吸盘的工作原理 多孔陶瓷真空吸盘(Porous Ceramic Vacuum Chuck),是利用真空吸附原理固定工件的...