日立采用的是ECR技术,即电子回旋共振 ECR原理概述: ECR-Electron Cyclotron Resonance. 在真空系统中利用磁场使电子集中在磁感应线做回旋加速运动 当微波的频率与旋转的磁场耦合时,在回旋运动与电场中发生了能量共振,电场能量被电子吸收 它有效地加速了电子并产生了大量的能量 通过这些能量产生的等离子体称为ECR等离子 微波频
IT之家 3 月 5 日消息，日立当地时间 2 月 27 日称该企业已开发出了一种高灵敏度半导体缺陷检测技术，可通过机器学习的辅助检出 10nm 及更小尺寸的微缺陷。这项技术已在二月末的 SPIE 先进光刻与图案化 2025 学术会议上展出。随着对高性能芯片的需求不断增加，半导体制造商对生产中的质量控制愈发重视；而制程...
天眼查为您提供日立半导体公司概况:日立半导体,成立于2013-10-01,位于日本,融资轮次并购。查公司,查老板,查关系就上天眼查。
日立半导体(苏州)有限公司办公室地址位于中国园林之城,人间天堂苏州,苏州 金鸡湖路176号(邮编:215021),于1995-12-22 在苏州工商局注册成立,注册资本为2996(万元),公司已经公司发展壮大的29年,愿与社会各界同仁携手合作,谋求共同发展,继续为新老客户提供的产品和服务。我公司主要经营生产半导体产品,在职员工有400人,,...
半导体制造和测量仪器 日立高新技术纳米技术统括本部介绍 为您介绍日立高新技术的半导体设备制造、评估、解析仪器。 返回上层
日立高科半导体成立于2002年,是日本日立制作所旗下的半导体业务公司。公司主要致力于生产各种半导体产品,包括晶圆、模块、芯片等,产品广泛应用于电子、通讯、汽车、医疗等领域。经过多年的发展,日立高科半导体已成为全球先进的半导体制造商之一,拥有众多的客户和合作伙伴。 二、日立...
一、日立晶圆制造设备 日立的晶圆制造设备包括曝光机、刻蚀机、离子注入机、化学机械抛光机等。这些设备可以满足不同层次的制造需求,从而支持半导体行业的发展。 其中,日立的曝光机采用了最新的光刻技术,可以满足0.5微米以下的微小制造需求。离子注入机则可以实现高精度的掺杂过程,为半导体器...
其中“株式会社日立功率半导体"的功率半导体产品,结合了半个多世纪市场销售业绩所积累的高可靠性,和与日立制作所研究部门共同开发的先进技术,在铁路,汽车,家用电子等领域,被世界上各主流客户所采用。基本信息公司名:Hitachi Power Semiconductor Device, Ltd.建立日期:2013年,10月1号商业模式:1. 半导体零部件的设计、...
日立高新技术在中国 产品活动信息 技术支持 支持信息 新闻及活动 关于我们 人才招聘首页 产品活动信息 半导体制造仪器 半导体制造仪器 半导体制造和测量仪器 半导体蚀刻系统9000系列 高解析度FEB测量装置CS4800 高速缺陷观测设备CR7300(Defect Review SEM) 缺陷形貌检测SEM CT1000 技术支持客户设备分类索引 (...
20纳米世代后的装置对精度和工艺要求非常高,如双重图案和3D构造,以及针对新材料相对应的高精密度复杂制程要求,包含后道处理和形成保护膜等。为了对应这类下一代器件工艺,半导体蚀刻装置9000系列统一了接口并且能够搭载高精度模块化的各种腔室,从而实现了对应先进器件的扩展性和柔软性的工艺。