磁控溅射旋转靶材驱动器是一种将靶材置于磁场中进行溅射的设备。在靶材表面形成离子束后,被溅射出来的原子和离子会沉积在基底上,形成薄膜。旋转靶材驱动器的主要作用是通过旋转靶材来均匀地沉积薄膜,使得薄膜的质量和均匀性更好。 二、磁控溅射技术在微电子、光电子、材料科学中...