1、样品台旋转，多样品同时镀膜时，镀膜厚度比较均匀。2、预溅射挡板功能，刚开始镀膜的时候腔室里会有...
亲直流(DC)磁控溅射、中频(MF)磁控溅射、射频(RF)磁控溅射特点如下平面型1.矩形:应用广泛,尤其适用于大面积平板的连续型镀膜;镀膜均匀性,产品的一致性较好.2.圆形:只适合于做小型的磁控源,制靶简单,适合科研中应用.电磁铁电流的磁效应:如果一条直的金属导线通过电流,那么在导线周围的空间将产生圆形磁...
2.中频(MF)磁控溅射 中评交流磁控溅射可用在单个阴极靶系统中,工业上一般使用孪生靶溅射系统;靶材利用率最高可达70%以上,靶材有更长的使用寿命,更快的溅射速率,杜绝靶材中毒现象.3.射频(RF)磁控溅射 射频溅射特点 - 射频方法可以被用来产生溅射效应的原因是它可以在靶材上产生自偏压效应.在射频溅射装置...
直流磁控溅射(DC)和射频磁控溅射(RF) 直流运用直流电源,射频运用交流电源(射频属于交流范畴,频率是13.56MHz。我们平常的生活用电频率为50Hz)。直流磁控溅射一般用于导电型(如金属)靶材的溅射,射频一般…
直流磁控溅射与射频磁控溅射虽同为溅射沉积技术,但存在显著差异。首先,在运作机制上,直流磁控溅射依赖直流电源驱动,形成低密度等离子体,适用于大面积薄膜沉积;而射频磁控溅射则采用高频交流电源,通常频率为13.56MHz,能产生更高密度的等离子体。其次,就薄膜质量而言,射频磁控溅射因等离子体密度高,所制备的薄膜更为致密、均...
磁控溅射设备 价格说明 价格:商品在爱采购的展示标价,具体的成交价格可能因商品参加活动等情况发生变化,也可能随着购买数量不同或所选规格不同而发生变化,如用户与商家线下达成协议,以线下协议的结算价格为准,如用户在爱采购上完成线上购买,则最终以订单结算页价格为准。 抢购价:商品参与营销活动的活动价...
磁控溅射铝铬靶的直流电源和中频电源在工作原理上有明显区别。直流电源通过直接向铝铬靶施加恒定电压,使得铝铬靶通过热熔或是电弧等方式产生离子,并在离子能量的作用下被大量喷射到基板上。而中频电源则是通过产生高频交变电场,使得溅射材料表面产生电子与离子,再通过集中...
真空镀膜磁控溅射偏压电源可调直流偏压电源大功率直流开关电源 复购率:30% 6年 ￥2.3万成交0笔 深圳市 二手进口镀膜电源,美国AE直流脉冲电源6KW 盛普直流磁控镀膜电源 复购率:100% 6年 ￥2.8万成交0笔 东莞市 DC电源插座5.5*2.1三脚焊线式 2.1/2.5圆针 内针 直流电源DC025m ...
脉冲DC优势：反向脉冲能有效清除靶材表面的电荷积累或非导电层，防止靶材中毒，提高溅射过程的稳定性。(2...
交流模式下,由于等离子体的扩散性增加,没有溅射生成的氧化物和其他杂质,可以形成较好的压应力,提高薄膜的机械性能和附着力。 四、总结 磁控溅射技术中,直流和交流模式各有优缺点。直流模式有更均匀的溅射分布,交流模式下,可以通过控制溅射时间和频率减少氧化和其他杂质的产生,提高薄膜的自洁性...