公司PF-300T和NF-300H系列型号可以最多搭载3个反应腔。此外,公司陆续推出了多款高产能平台,包括TS-300/TS-300S和PF-300M系列型号,可以最多搭载5个反应腔。感谢您的关注!
拓荆科技-U主营产品名称 SH688072主营产品名称12英寸 HTM PECVD设备NF-300H、12英寸ALD设备FT-300H、12英寸PEALD设备FT-300T、12英寸PECVD设备PF-300T、12英寸PECVD设备PF-300T eX、12英寸SACVD设备SA-300T、12英寸Thermal-ALD设备FT-300T、8英寸PECVD设备PF-200T、8英寸SAC