随着低电压和能谱仪技术的发展，低加速电压能谱技术（≤5keV）在高空间分辨率的面分布和超轻元素的分析中优势明显。首先，能谱的空间分辨率主要来自于特征X射线的产生区。当入射电子束能量降低，即加速电压降低时，X射线的产生区随之变小，理论上能谱的空间分辨率会随之增加。其次，轻元素的特征X射线易于被基体吸收...
X射线能谱仪(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)简称能谱仪,是扫描电镜进行元素分析的重要附件。它通过判别特征X射线的能量对材料的成分进行定性和定量分析,面分布技术还可以提供元素空间分布的信息。扫描电镜与能谱仪结合使用,测试效率高、便利性好,已成为许多科学领域中强大的表征工具。 入射电子与样品相互作...
X射线能谱仪(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)简称能谱仪,是扫描电镜进行元素分析的重要附件。它通过判别特征X射线的能量对材料的成分进行定性和定量分析,面分布技术还可以提供元素空间分布的信息。扫描电镜与能谱仪结合使用,测试效率高、便利性好,已成为许多科学领域中强大的表征工具。 入射电子与样品相互作...
X射线能谱仪(Energy Dispersive X-ray Spectroscopy,EDS)简称能谱仪,是扫描电镜进行元素分析的重要附件。它通过判别特征X射线的能量对材料的成分进行定性和定量分析,面分布技术还可以提供元素空间分布的信息。扫描电镜与能谱仪结合使用,测试效率高、便利性好,已成为许多科学领域中强大的表征工具。 入射电子与样品相互作...