能量色散X射线光谱分析(EDS)是扫描电子显微镜(SEM)中最常用的功能之一。大多数扫描电镜都配备了能谱仪,这使得用户能够对样品进行微区域的成分分析。能谱仪通过检测样品发射的X射线来工作,不同元素的X射线具有独特的特征能量。谱仪根据这些能量展开谱图,其中横坐标代表特征能量,不同元素的谱峰出现在特定的位置。纵坐...
EDS分析属于电子探针分析的一种,它的工作原理是以动能为10-30千电子伏的细聚焦电子束轰击试样表面,击出表面组成元素的原子内层电子,使原子电离,此时外层电子迅速填补空位而释放能量,从而产生特征X射线,用能谱仪和检测计数系统测量特征X射线的能量,即可鉴别元素的种类和浓度。 扫描电子显微镜(SEM)主要是利用二次电子信...
EDS分析的最低含量是0.x%(注:这个x是因元素不同而有所变化的。) “电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则”国家标准,规定了EDS的定量分析的允许误差(不包括含超轻元素的试样)。对平坦的无水、致密、稳定和导电良好的试样,定量分析总量误差小于±3%。 另外,EDS分析的相对误差也有相应的规定: a) 主元素(>2...
SEM与EDS的结合应用广泛,如检测表面镀层的裂纹、分析不同材料断口的微观结构和成分。执行分析时,依据的标准包括JY/T 0584-2020《扫描电子显微镜分析方法通则》、GB/T 17359-2012《微束分析 能谱法定量分析》和GB/T 16594-2008《微米级长度的扫描电镜测量方法通则》等,确保了分析结果的准确性和规范性。
通过不同材料分析设备的组合使用,可以提供强大且不同种类的分析功能、提高分析仪器对不同领域的支持等。SEM-EDS技术是扫描电子显微镜和X射线能谱仪组合在一起使用对材料的成分进行分析,SEM负责激发材料产生特征X射线、EDS负责对X射线进行能谱分析,这个方法可以对纳米薄膜、不锈钢单面散点异物等进行分析。案例通过SEM-...
SEM扫描电镜分析 EDS成分分析 SEM(扫描电子显微镜)-EDS(X射线能谱仪)是目前最主要的成分分析手段之一,之前我们讲过其原理、技术进步、应用项目和行业,现在来讲讲SEM和EDS在各测试项目中是如何应用的,拿到SEM和EDS结果后如何分析? 首先关于SEM,它的用途主要有两个: 一是利用其放大功能观察微小样品表面形貌及元素分...
扫描电子显微镜(SEM)是一种使用电子束扫描样品表面以实现高倍率成像的设备。它利用发射电子束来扫描样品表面,通过多种相互作用获得样品的形态、成分及晶体结构等信息。能谱仪(EDS)是一种器械,用于分析样品中的元素种类和含量。它是通过检测电子束与样品互动时所产生的X射线,根据能量分布的差异来区分各种元素,并...
扫描电镜是介于透射电镜和 光学显微镜之间的一种微观性貌观察手段。 u扫描电镜的优点: 有较高的放大倍数,20- 20万倍之间连续可调;有很大的景深,视 野大,成像富有立体感,可直接观察各种试 样凹凸不平表面的细微结构;试样制备简 目前的扫描电镜都配有X射线能谱仪装置,这 样可以同时进行显微组织性貌的观察和微区...
1、第七章第七章 扫描电子显微和扫描电子显微和X射线能谱仪射线能谱仪 近代测试技术近代测试技术 王夏琴王夏琴 Tel: 67792836 E-mail: 材料大楼材料大楼C372 参考书 高分子物理近代研究方法,张俐娜等编,武汉大学出版社, 2003。 扫描电子显微镜分析技术,杜学礼等编,化学工业出版社, 1986。 电子显微镜的原理和使用...
扫描电子显微镜(SEM)应用于断口分析、相的析出和发布特征分析、元素分布行为分析、结构分析等。X射线能谱仪(EDS)则通过高能电子束照射样品产生X射线,通过不同元素发出的特征X射线具有的不同频率,检测不同光子的能量和X射线的强度来对元素进行定性分析和定量分析。