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扫描式电子显微镜-X射线能谱仪是一种用于物理学、化学、材料科学领域的分析仪器,于2010年3月17日启用。技术指标 硬件:倍率:15~100000,观察范围:9(H)×7(V)mm~1.3(H)×1(V)mm,分辨率:8nm,观察两次电子图像和反射电子图像,观察模式:高真空、低真空(3-260Pa),显示分辨率:观察640×480,摄影...
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扫描电子显微镜及能谱仪 扫描电子显微镜及能谱仪是一种用于材料科学、机械工程、安全科学技术领域的分析仪器,于2010年12月27日启用。技术指标 放大倍数:6x–1,000,000x,分辨率:30kV下3.0nm(SE),30kV下4.0nm(BSE),3kV下8.0nm(SE)。主要功能 微观分析。
发射扫描电子显微镜之能谱仪(Energy Dispersive Spectrometer)。它是用来对材料微区成分元素种类与含量分析,配合扫描电子显微镜与透射电子显微镜的使用。 图1能谱探头在蔡司300扫描电子显微镜中位置示意图 原理 各种元素具有自己的X射线特征波长,特征波长的大小则取决于能级跃迁过程中释放出的特征能量△E(如图2),能谱仪就...