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扫描电子显微镜及电子能谱仪是一种用于材料科学、矿山工程技术、冶金工程技术领域的分析仪器，于2015年5月8日启用。技术指标 扫描电镜设备主要技术参数：1、分辨率：二次电子（SE）像分辨率在高真空时：30kV时优于3.0nm，3kV时优于10.0nm；背散射电子(BSE)像分辨率（VPwithBSD），30kV时优于4.0nm。2、放大...
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采用扫描电子显微镜（SEM）与X射线能谱仪（EDS）联合应用的方法对材料进行微区化学成分分析是一种重要的分析手段[1],该方法方便快捷,对不平试样也可以用无标样定量程序得到较好的定性、半定量分析结果,应用较为广泛。1. EDS定量分析的基本原理 EDS是一种能采集X射线、测量X射线强度,并计算其与X射线能量函数关系的...
场发射扫描电子显微镜之能谱仪（EDS, Energy Dispersive Spectrometer）是SEM、TEM、EPMA成分分析的关键附件。EDS方法以其非破坏性、快速且能进行微区成分分析的特点而著称，它与扫描电子显微镜和透射电子显微镜的联用，使得在观察微观形貌的同时，还能对样品进行成分分析。通过记录所有X射线谱，EDS能精确测量X射线强度与X...
扫描式电子显微镜-X射线能谱仪是一种用于物理学、化学、材料科学领域的分析仪器，于2010年3月17日启用。技术指标 硬件：倍率：15～100000，观察范围：9(H)×7(V)mm～1.3(H)×1(V)mm，分辨率：8nm，观察两次电子图像和反射电子图像，观察模式：高真空、低真空（3-260Pa），显示分辨率：观察640×480，摄影...