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微加工与器件平台为松山湖材料实验室公共技术平台下设子平台,规划超净实验室面积超过3000平方米。平台立足于微纳加工技术前沿及半导体器件产业发展趋势,积极布局先进微电子器件、光电子器件、MEMS&NEMS器件、柔性器件、3D混合集成器件等领域,以满足电子信息、先进显示、人工智能、清洁能源、新概念材料加工等技术发展对于微纳...
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天津瑞利光电科技有限公司优势经销Microlight3D三维微加工平台MICROFAB-3D产品型号:MICROFAB-3D产品介绍:microFAB-3D是一种基于双光子聚合直接激光写入技术的超高分辨率3D打印系统。microFAB-3D的min特征尺寸可降至0.2微米宽,为微流体、微光学、细胞培养、微型机器人或元材料开辟了新的前景。开放和进化的microFAB-3D可以...
超精密加工是一种高度自动化过程,旨在对高度复杂的零件进行极其精确的成形。KASITE-SKD系列微纳加工中心自带CNC功能的运动控制卡编程运算各指令,并且自定义运动轨迹控制,编辑不同形状,自动完成零件加工需求。 高精密微纳加工平台SKD微型加工中心简介 加工中心 加工中心...
激光微加工平台 激光微加工平台是一种用于物理学领域的特种检测仪器，于2017年7月7日启用。技术指标 定位分辨率：0.05µm 光斑：e.g ≤ 1 µm (物镜可换) 行程范围(XYZ)：100mm x 100mm x 5mm。主要功能 光纤制备测试等。
激光微加工平台特别为飞秒激光微加工定位和飞秒激光微加工位移应用设计设计的纳米级激光微加工平台和激光微加工位移台,广泛适合全球主流的飞秒激光器和皮秒激光器,全面满足科学家和工程师自我搭建激光微加工系统的要求, 已经在美国和欧洲被科学家和激光微纳设备制造商广泛采购使用。
“材料微纳加工本身就是材料研究的重要方面。”贾海强说道,目前微加工平台已经具备多种材料的复合和综合加工能力,包括以光刻为代表的微纳图形制备工艺,镀膜工艺,刻蚀工艺,高温工艺,表面处理工艺,离子注入工艺等,这些基本覆盖了微纳加工的主要工艺手段。 所有微纳器件与集成芯片的制程,基本都是上述工艺手段的排列组合,每...