上海交通大学物理与天文学院微纳加工与测试平台成立于2020年,现有实验面积500平方米。平台面向校内外用户提供个性化高精尖科研支持服务,特别注重学生能力培养和提升。通过平台专业培训后,学生可亲自动手操作所有设备,实现对复杂微纳加工工艺和条件的探索,支撑高...
微纳加工平台科研人员在“未来科学家”暑期研学营中进行宣讲 当前,之江实验室已建立大型科研仪器设备数字化系统并对外开放,微纳平台作为其中的重要平台,将持续提升设备水平,加快迭代优化各单点工艺模块能力及工艺监控体系,在支撑之江实验室科研任务...
上海交通大学先进电子材料与器件平台（以下简称“aemd平台”）创建于2012年，目标是建立一个服务于全校的微纳加工工艺实验平台，并面向校外科研院所和企业开放共享。一期净化工程于2014年建成并于同年11月正式向校内外用户开放服务，当时建设的工艺线为具有纳米尺寸图形化能力的6英寸无源微纳结构与器件加工的科研实验线，...
目前,传统的芯片代工企业,多服务于具有大批量生产需求的客户,难以为单个或小批量加工产品的初创企业提供服务。 而半导体微纳加工平台恰恰是为初创企业解决了这一痛点。 除了最基础的委托加工外,平台还能提供联合研发、封装测试、产线共建、...
2023年10月9日,南京理工大学光学前沿交叉研究中心微纳加工平台的FIB-SEM安装调试完毕并顺利通过学校相关部门组织的现场验收。01设备介绍中心购置引进的FIB-SEM源自于德国蔡司,型号为Crossbeam 350。主要技术指标为:(1)单写场范围:能够在 ...
苏州纳米所微纳加工平台是依托中科院苏州纳米所纳米加工平台(苏州)的先进技术积累和成熟运营经验,围绕集成电路、半导体分立器件的先进封装测试、可靠性与失效分析开展公共技术研发和服务的平台。该平台秉承“场地开放、资源共享、服务客户、助力创新”的理念...
MEMS微纳加工小试平台是一个集微纳制造技术研发、公共服务、产业化为一体的多功能公共开放平台,旨在推动微纳制造技术的发展和应用,促进科研成果的转化和产业化。平台以专业的技术团队、先进的设备工艺和完善的基础设施服务客户,以轻...
湖南艾科威微纳加工暨国产装备验证平台以艾科威自主研发制造的国产半导体工艺设备为依托,致力打造华中地区国产装备示范平台及特色服务模式的公共开放平台。同时搭建和企业、高校联合攻关,集“产、学、研”为一体的创新合作平台。 平台目前拥有300m2工艺实验室面积,已配备了包括薄膜制备、材料刻蚀、膜厚检测等常见的半导体工艺...
微纳加工平台就是一个小工厂,虽然是科研但是设备不比真正的量生设备便宜。自从某国限制出口我国滤波器件以及其他芯片,真正的促使我们更加的正视我们的芯片产业生态。 微纳加工平台,主要是两个方面:微纳加工、微纳检测。微纳加工设备主要有:光刻、刻蚀、成膜、离子注入、晶圆键合等。微纳检测主要是表征检测:原子力...
@苏州博纳微电子科技有限公司icpcvd 微纳加工平台 苏州博纳微电子科技有限公司 ICPCVD是微纳加工平台中的一种重要镀膜设备,主要用于SiO2、SiNx、SiC等薄膜的沉积。这种设备在微纳制造领域有着广泛的应用,能够帮助实现精确的薄膜沉积,从而满足各种微纳器件的制造需求。