本文件规定了用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定多晶硅生产用氢气中钠、镁、铝、钙、铬、锰、铁、镍、铜、锌、砷、钛元素含量的方法。多晶硅生产用氢气中金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法, Determination of metal impurity content in hydrogen for poly
doi:T/CNIA 0141-2022主要技术内容:本文件规定了用电感耦合等离子体质谱仪(ICP-MS)测定多晶硅生产用氢气中钠,镁,铝,钙,铬,锰,铁,镍,铜,锌,砷,钛元素含量的方法中国有色金属工业协会袁中华张习松黄仕建慕道焱侯海波李寿琴楚东旭刘翠魏东亮邱艳梅王彬岳峥赵培芝...