本发明公开了一种PERC太阳能电池的抛光刻蚀方法,包括:步骤1,链式去硅片背面及边缘PSG;步骤2,槽式背面抛光刻蚀;步骤3,槽式RCA清洗;步骤4,槽式去PSG.本发明能够有效解决硅片EL不良的问题,大大降低电池的成品不良率. 左国军,任金枝,朱信俊,... 被引量: 0发表: 2017年 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE Then,...
关于四川东磁宜宾二期单晶制绒自动上下料机+去BSG+碱拋自动化+PSG+RCA自动化的招标公告技术标时间:4月16日 商务标时间:4月17日联系人:杜晓琳 联系电话:13738999440 附件下载: 单晶制绒自动上下料机+去BSG+碱拋自动化+PSG+RCA自动化技术标.docx 附件下载: 单晶制绒自动上下料机+去BSG+碱拋自动化+PSG+RCA自动化...
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