卢瑟福背散射谱学（RutherfordBackscatteringSpectrometry，RBS），有时候被称为高能离子散射谱学（High-Energy Ion Scattering，HEIS），是一种是一种离子束分析技术，被用在材料科学中，用以分析、测量材料的结构和组成。通过将一束确定能量的高能离子束（通常是质子或α粒子）打到待分析材料上，检测背向反射的离子的...
卢瑟福背散射谱法是2003年公布的机械工程名词。定义 以兆电子伏特级的高能氢元素离子通过针形电极(探针)以掠射方式射入试样，大部分离子由于试样原子核的库仑作用产生卢瑟福散射，改变了运动方向而形成背散射。测量背散射离子的能量、数量，分析试样所含有元素、含量和晶格的方法。出处 《机械工程名词 第三分册》。
这种电离能量损失,使在样品深部发生背散射的粒子能量E:在能谱上相对于样品表面发生背散射的粒子能最往低能量侧展宽,反映了靶原子随深度的分布情况。 在卢瑟福背散射分析中,研究的是入射粒子与靶原子核之间的库仓排斥力作用下的弹性微射过程。这种散射过程的作用几率可用卢瑟属散射截面来精确计算,因此,测定散射粒子的...
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对卢瑟福背散射分析技术的基本原理、试验设备、样品要求及数据处理方法进行了介 绍,并举例分析了硅衬底上钛膜厚度的测定,以及钼衬底上钛钼合金膜的实际组分以及氨离子注入 杂质的分布范围和实际剂量测定。讨论了卢瑟福背散射技术的发展和应用,介绍了弹性反冲、高能 非卢瑟福散射和沟道技术三种分析方法。
卢瑟福背散射分析技术(RBS) 自1967年成功应用于月球土壤成分分析以来,背散射分析技术(RBS)已逐渐成熟为离子束分析领域的核心技术。因其简便的测量方法、易于解读的能谱分析、可靠的结果以及无需标准样品的定量无损分析特性,RBS已成为分析固体表面层元素成分、杂质含量和元素浓度分布的必备手段。同时,它还能有效揭示薄膜界...
对卢瑟福背散射分析技术的基本原理、试验设备、样品要求及数据处理方法进行了介 绍,并举例分析了硅衬底上钛膜厚度的测定,以及钼衬底上钛钼合金膜的实际组分以及氨离子注入杂质的分布范围和实际剂量测定。讨论了卢瑟福背散射技术的发展和应用,介绍了弹性反冲、高能 非卢瑟福散射和沟道技术三种分析方法。
通过对散射离子能量的测量，可以确定靶原子的质量。通过对散射产额的测量，可以定量地确定靶原子的含量。通过对散射离子的能谱测量，可以确定靶原子的深度分布。学科：岩矿分析与鉴定 词目：卢瑟福背散射能谱分析 英文：Rutherford backscattering spectrometry(RBS)
卢瑟福背散射谱原理是根据卢瑟福散射实验的结果提出的。卢瑟福散射实验是由英国物理学家欧内斯特·卢瑟福于20世纪初进行的一项重要实验,通过将α粒子从中射向一个金属薄片,观察射出的α粒子在薄片中的散射情况。 根据实验结果,卢瑟福提出了背散射谱原理。该原理指出,当高速运动的实验粒子(例如α粒子)射入原子核或原子的...