光学技术中的RBS指的是卢瑟福背散射光谱法(Rutherford Backscattering Spectrometry)。这是一种基于原子核之间碰撞的物理分析方法,通过测量高能离子束(如氦离子)在样品表面散射回来的能量和数量,来分析样品的元素组成、原子质量和深度分布等信息。这种方法在材料科学、半导体技术、考古学等领域有广泛应用,特别是在表面分析和...