针对这一挑战,南京大学余林蔚教授、王军转教授和扬州大学胡瑞金老师团队,基于自主创新的面内固-液-固(IPSLS) 纳米线生长模式,首次提出利用催化“液滴阶跳”生长动态,成功实现超细、超短晶硅纳米线沟道阵列的可靠集成制备。具体而言,基于IPS...
针对这一挑战,南京大学余林蔚教授、王军转教授和扬州大学胡瑞金老师团队,基于自主创新的面内固-液-固(IPSLS) 纳米线生长模式,首次提出利用催化“液滴阶跳”生长动态,成功实现超细、超短晶硅纳米线沟道阵列的可靠集成制备。具体而言,基于IPSLS生长模式的低温定位生长(<350℃)能力,将催化液滴精确引导生长到跳跃交叉台阶...
特征尺寸 (critical dimension, CD) 小于10 nm的超细三维堆叠晶硅沟道是构建GAA-FET的核心要素。近日,南京大学电子科学与工程学院余林蔚教授团队报道了一种无须超高精度EUV光刻技术,即可实现超细三维堆叠纳米线的可靠生长集成技术,这项成果突...
为了应对上述挑战,南京大学余林蔚教授团队提出了一种新型的洛伦兹力驱动的双向驱动平面外结构NEM开关。其由一体成型的单根形貌编程的硅纳米线(Silicon Nanowire, SiNW)构成,该SiNW通过余林蔚课题组自主创新的平面内固-液-固 (In-plane solid-liquid-solid, IPSLS) 方法生长。悬空的纳米线悬臂在矢量洛伦兹力驱动下,...
针对此需求,南京大学余林蔚、徐骏教授团队探索将高品质的一维硅纳米线(SiNWs)阵列可靠转移集成到弹性衬底PDMS之上,实现了超可拉伸的高性能场效应晶体管(FET)器件应用。基于课题组自组创新(见附录)的(In-plane solid-liquid-solid, IPSLS)生长模式,首先制备了规则有序的超细晶硅纳米线(直径<80 nm)沟道,再将其可靠...
针对这一难题,南京大学电子学院余林蔚教授团队基于团队自主创新的平面IPSLS纳米线生长模式,采用侧壁精细沟槽引导技术实现了三维堆叠超细、均匀纳米线的“超限制调控生长”,首次将其宽度和高度分为微缩至Wnw= 9.9 ± 1.2 nm 和Hnw= 18.8 ± 1.8 nm,达到10 nm技术节点特征尺寸,并能实现可靠批量制备。此外,硅纳米线沟...
针对此需求,南京大学余林蔚教授课题组探索将三维架构的径向结非晶硅锗薄膜(3D a-SiGe:H p-i-n radial junction)光电器件应用于人体脉搏探测。首次基于铝箔上直接生长的超柔性径向结光电探测单元,于手腕处成功实现了对脉搏信号的光体积描记术(PPG)检测(探测光@800 nm)。区别于通常的血氧技术,该技术能直接探测由于...
针对这一难题,南京大学电子学院余林蔚教授团队基于团队自主创新的平面IPSLS纳米线生长模式,采用侧壁精细沟槽引导技术实现了三维堆叠超细、均匀纳米线的“超限制调控生长”,首次将其宽度和高度分为微缩至Wnw= 9.9 ± 1.2 nm 和Hnw= 18.8 ± 1.8 nm,达到10 nm技术节点特征尺寸,并能实现可靠批量制备。此外,硅纳米线沟...
针对此需求,南京大学余林蔚、徐骏教授团队探索将高品质的一维硅纳米线(SiNWs)阵列可靠转移集成到弹性衬底PDMS之上,实现了超可拉伸的高性能场效应晶体管(FET)器件应用。基于课题组自组创新(见附录)的(In-plane solid-liquid-solid, IPSLS)生长模式,首先制备了规则有序的超细晶硅纳米线(直径可以承受高达50 %的拉伸应...
柔性光电探测在生物传感/检测、可穿戴和个性化实时健康监测等领域中有广泛的应用。其中人体心率及波形的实时监控是各类诊断中必不可少的重要生理信号。针对此需求,南京大学余林蔚教授课题组探索将三维架构的径向结非晶硅锗薄膜(3D a-SiGe:H p-i-n radial junction)光电器件应用于人体脉搏探测。