针对混合式和单片集成电路制造过程中产生的废气,可以采取以下处理措施: 预处理设备(Local Scrubber):在废气排放到大气之前,首先通过Local Scrubber进行预处理,这可以避免风管堵塞、管路腐蚀、局部聚积或气体相互反应,导致气体泄漏、火灾爆炸等事故。Local Scrubber的处理方法包括燃烧水洗、高温水洗、等离子水洗、干法吸附等。
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