针对混合式和单片集成电路制造过程中产生的废气,可以采取以下处理措施: 预处理设备(Local Scrubber):在废气排放到大气之前,首先通过Local Scrubber进行预处理,这可以避免风管堵塞、管路腐蚀、局部聚积或气体相互反应,导致气体泄漏、火灾爆炸等事故。Local Scrubber的处理方法包括燃烧水洗、高温水洗、等离子水洗、干法吸附等。
混合式集成电路(HIC)和单片集成电路(Monolithic IC)是集成电路的两大类。混合集成电路是将半导体集成工艺与薄/厚膜工艺结合而制成的集成电路,它在基片上用成膜方法制作厚膜或薄膜元件及其互连线,并在同一基片上将分立的芯片、单片集成电路或微型元件混合组装,再外加封装而成。单片集成电路,也称为半导体集成电路,是...
针对混合式和单片集成电路制造过程中产生的废气,可以采取以下处理措施: 预处理设备(Local Scrubber):在废气排放到大气之前,首先通过Local Scrubber进行预处理,这可以避免风管堵塞、管路腐蚀、局部聚积或气体相互反应,导致气体泄漏、火灾爆炸等事故。Local Scrubber的处理方法包括燃烧水洗、高温水洗、等离子水洗、干法吸附等。
针对混合式和单片集成电路制造过程中产生的废气,可以采取以下处理措施: 预处理设备(Local Scrubber):在废气排放到大气之前,首先通过Local Scrubber进行预处理,这可以避免风管堵塞、管路腐蚀、局部聚积或气体相互反应,导致气体泄漏、火灾爆炸等事故。Local Scrubber的处理方法包括燃烧水洗、高温水洗、等离子水洗、干法吸附等。