直拉法于1916年由波兰科学家Jan Czochralski首次提出,是目前世界范围内最广泛采用的单晶硅制造方法。该工艺通过在熔融硅液中引入籽晶,利用机械拉伸和旋转技术将熔体结晶为单晶棒。1.2 工艺流程与特点 坩埚熔炼:使用石英坩埚熔化多晶硅原料。籽晶引入:将籽晶缓慢接触熔体形成初始晶体生长。晶体拉制:通过机械系统控制...
以下是单晶硅棒拉制过程的详细介绍。 1. 原材料制备 单晶硅棒的原材料是高纯度硅。制备过程中需要先将硅石经过破碎、洗涤、脱除杂质等多道工艺处理,得到纯度高达99.99999%的单晶硅料。然后将单晶硅料加入到高温熔炉中。 2. 溶液制备 将单晶硅料加入高温熔炉后,需要经过多道步骤的化学反应,得到具有一定浓度的硅液...
熔化:加完多晶硅原料于石英埚内后,长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内,然后打开石墨加热器电源,加热至熔化温度(1420℃)以上,将多晶硅原料熔化。 缩颈生长:当硅熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力,会使籽晶产生位错,这些位错必须利用缩颈生长...
一、半导体级拉晶的过程 半导体级拉晶是制造单晶硅棒的关键过程,主要包括以下步骤: 加热熔融硅料:将硅料加热至1425摄氏度以上,形成熔池。 吸取硅棒:将硅单晶体放在硅棒拉晶机上,向熔池中吸取硅溶液。 拉制硅棒:通过逐渐地从硅溶液中拉出硅棒,使其逐渐变细变长,直至达到所需的直径和长度。 硅棒检测:检查拉制...
一、精心准备原料 单晶硅棒的制造始于对原料的精挑细选。多晶硅与掺杂元素如硼、磷、锑、砷等按照要求的N型或P型电阻比例混合,被小心地加入到石英坩埚中,为接下来的熔铸做准备。二、启动熔炉过程 当所有原料都已准备就绪,长晶炉关闭,真空泵启动,氩气注入以保持稳定的压力。随后,石墨加热器点燃,...
单晶硅棒拉制过程,喜欢的点赞收藏转发#合肥单晶材料科技 #单晶#硅#单晶硅#科普#涨知识 #靶材厂家 #电子元器件 #科技 #半导体 #集成电路 #芯片 #干货 @DOU+小助手 @清华大学 - 单晶材料/单晶衬底/单晶靶材各种光电材料于20220411发布在抖音,已经收获了4503个喜欢,来抖音,
一、从原料到诞生</ 单晶硅棒的诞生,源于严谨的工艺流程:首先,加料</环节,精心挑选的多晶硅原料与杂质如硼、磷、锑、砷等按N型或P型电阻要求,一同倒入石英坩埚,准备熔铸之旅。二、熔炉的秘密</ 当原料就位,长晶炉闭合,真空泵开始工作,氩气注入以维持恒定压力。随后,石墨加热器点燃,将温度...
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