半导体poly工艺是什么

2024-12-27 13:36:18

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含义

• 超净车间poly是干什么的 - 百度知道

  做多晶硅工艺。超净车间半导体中POLY是做多晶硅工艺。 多晶硅(POLY)在半导体器件制造过程中，应用非常广泛，主要用为栅极、互连、填充材料。

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