根据SEMI历史数据,按照产业链上下游来看晶圆制造及处理设备类投资金额最大,占总设备投资的81%;封测环节设备投资约占总设备投资的15%,晶圆制造及处理设备为半导体行业中固定资产的核心。 晶圆制造设备投资中主要分为光刻机、刻蚀机、薄膜设备、扩散\离子注入设备、湿法设备、过程检测等六大类设备,其中光刻、刻蚀和薄膜沉...