半导体硅片清洗兆声波设备阐述了半导体硅片清洗的一些重要设备.主要包括湿法化学清洗,兆声波清洗以及机械刷洗设备等常用的设备及配置,同时也介绍了近几年逐渐获得应用的清洗设备方面的技术创新.doi:10.3969/j.issn.1002-2279.2012.04.008林晓杰中国电子科技集团公司刘丽君沈阳硅基科技有限公司王维升沈阳硅基科技有限公司CNKI...
硅片清洗兆声波设备阐述了半导体硅片清洗的一些重要设备.主要包括湿法化学清洗,兆声波清洗以及机械刷洗设备等常用的设备及配置,同时也介绍了近几年逐渐获得应用的清洗设备方面的技术创新.%This article mainly reported some important equipments of the silicon wafer cleaning. These equipments mainly include the wet ...