半导体级(电子级)硅的工艺流程图 硅是地壳中第二丰富的元素(氧是第一-) 。它天然存在于硅酸盐(含Si-O)岩石和沙子中。半导体器件制造中使用的元素硅是由高纯度石英和石英岩砂生产的,这些石英和石英砂含有相对较少的杂质。
下图为RTO工艺的流程图。将晶圆载入反应室后就可以打开加热灯管分两步提升温 度:首先以较大的升温速率将温度升高到800摄氏度左右,接着再以较低的速率获得所需的氧化温度,如1150摄氏度这种两步升温的过程可以缩短升高温度所需的时间,因为第二步使用较低的速率升温达到氧化工艺所需的温度可以缩短稳定温度所需的时间。