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《光刻胶材料评测技术——从酚醛树脂光刻胶到最新的EUV光刻胶》作者:化学工业出版社,出版社:2024年4月 第1版,ISBN:。光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一,在模拟半导体、发光二极管、微机电系统、太阳能光伏、微
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