防雾等优异性能,工程应用潜力巨大.仿生学研究表明,复眼表面微观结构对其特定功能的实现具有关键作用.本文利用三光束激光干涉光刻技术在单晶硅基底表面制备了仿腹色蜉复眼表面微结构,并讨论了激光能量及曝光时间对加工表面形貌的影响,从而获得了20μm特征尺寸下最优激光加工工艺参数为激光能量为40 mJ,曝光时间为15 s为...
近来,一些非传统 的碳结构的微制造方法已被报道。Whitesides等人 用软光刻的方法制备出了玻璃碳,他们将树脂材料 (如糠醇)在橡胶微模型里进行造型,接着将其放入 惰性气氛中加热(5ooloor)t使之转变为玻 璃碳。而另一个更具前景的是结合了传统光刻与 热解的CMEMS工艺,该工艺过程是将光刻胶通 过曝光、显影等步骤...
光刻结合热解制备高深宽比碳微结构的新方法
一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法及工装专利信息由爱企查专利频道提供,一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法及工装说明:本发明公开了一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构制备方法及工装,解决了传统接近/接触式曝光方法制...专利查询请上爱企查
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一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构的制备方法,包括以下步骤: 步骤1:在带有薄膜镜框3的薄膜基底2表面旋涂光刻胶; 步骤2:调节承片台5与掩模板4之间的平行度; 步骤3:将内侧支撑工装6、外侧高度调节工装7先后安装到承片台5上,内侧支撑工装6位于外侧高度调节工装7内侧,内侧支撑工装6的安装模块12底部和外侧高度...
摘要 本发明公开了一种应用在超材料制备中的光刻仪和微结构图案光刻方法,该光刻仪包括:用于将接收的激光束分为两束以上相干光并输出的分束器;用于接收并调整两束以上相干光中的至少一束第一相干光的相位并对调整相位后的至少一束第一相干光进行输出的普克尔斯盒;其中,普克尔斯盒所输出的至少一束第一相干光与分束...
近来,一些非传统 的碳结构的微制造方法已被报道。Whitesides等人 用软光刻的方法制备出了玻璃碳,他们将树脂材料 (如糠醇)在橡胶微模型里进行造型,接着将其放入 惰性气氛中加热(5ooloor)t使之转变为玻 璃碳⑵。而另一个更具前景的是结合了传统光刻与 热解的C・MEMS⑴工艺,该工艺过程是将光刻胶通 过曝光、...
仿生学研究表明,复眼表面微观结构对其特定功能的实现具有关键作用。本文利用三光束激光干涉光刻技术在单晶硅基底表面制备了仿腹色蜉复眼表面微结构,并讨论了激光能量及曝光时间对加工表面形貌的影响,从而获得了20μm特征尺寸下最优激光加工工艺参数为激光能量为40 mJ,曝光时间为15 s为最优试验条件。 著...
本发明公开了一种大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构制备方法及工装,解决了传统接近/接触式曝光方法制备大口径薄膜衍射透镜时不同半径区域无法获得相同优质形貌光刻胶微结构的问题.本发明提供的大口径薄膜衍射透镜光刻胶微结构制备方法,可以在不影响大口径薄膜衍射透镜波像差的情况下,制作出表面具有大面积优质光刻胶形貌...